doi:10.1109/TENCON.2010.5686462

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060 工学部・工学研究科 = Faculty of Engineering

060 会議発表資料 = Conference Paper

Permalink : http://hdl.handle.net/10069/25079

Deposition of transparent conducting Al-doped ZnO thin films by ICP-assisted sputtering 利用統計を見る

File / Name	License
TENCON2010_1002.pdf
TENCON2010_1002.pdf (311.44KB) [ 41 downloads ]

アイテムタイプ	会議発表論文 / Conference Paper
言語	英語
キーワード	Inductively-coupled plasma, Optical spectroscopy, Sputtering, Transparent conducting oxide films, Zinc oxide
著者	Shindo Ryota Iwata Tadashi Hirashima Akinori Shinohara Masanori Matsuda Yoshinobu
抄録	Aluminum-doped zinc oxide (AZO) is one of the promising transparent conductive oxide materials, which is expected to be an alternative to tin-doped indium oxide (ITO) that for long has been widely used in industry. The authors have been engaged in the development of AZO deposition process using inductively-coupled plasma assisted sputtering in a couple of years. This paper reports the results showing effectiveness of inductively coupled plasma (ICP) assisted sputtering in AZO film deposition process.
内容記述	2010 IEEE Region 10 Conference (TENCON 2010) : Fukuoka, 2010.11.21-2010.11.24
雑誌名	TENCON 2010 - 2010 IEEE Region 10 Conference
ページ	1002 - 1006
発行年	2010-11
ISBN	978-1-4244-6889-8
DOI	10.1109/TENCON.2010.5686462
権利	© 2010 IEEE. Personal use of this material is permitted. However, permission to reprint/republish this material for advertising or promotional purposes or for creating new collective works for resale or redistribution to servers or lists, or to reuse any copyrighted component of this work in other works must be obtained from the IEEE.
著者版フラグ	author
出版者	IEEE
引用	TENCON 2010, pp.1002-1006; 2010

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■システム更新のお知らせ
(2023/4/25)

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・リポジトリへの新規登録停止
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・リポジトリシステム停止
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この期間は検索・閲覧もできません。

・リポジトリ公開および新規登録開始
2023年6月29日（木）

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2020年12月より、サーバ移転のため統計メール送信を停止いたしました。新サーバでも統計メールをお送りするよう作業を進めておりますが、システム更新等が重なり再開が遅れております。再開の時期が決まりましたら、改めてご案内いたします。ご不便をおかけいたしますが、ご理解のほどよろしくお願いいたします。

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・長崎大学言語教育研究センター論集11の収録論文2件を登録しました。2023/04/14

・長崎大学教育開発推進機構紀要13の収録論文10件を登録しました。2023/04/13

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・多文化社会研究9の収録論文17件を登録しました。2023/03/31

・Acta medica Nagasakiensia 66(2)の収録論文9件を登録しました。2023/03/30

・経営と経済102(3-4)の収録論文5件を登録しました。2023/03/20