長崎大学学術研究成果リポジトリ

長崎大学

WEKO


	トップ


	ランキング

Language

インデックスツリー

インデックス

help

060 工学部・工学研究科 = Faculty of Engineering

060 会議発表資料 = Conference Paper

Permalink : http://hdl.handle.net/10069/25079

Deposition of transparent conducting Al-doped ZnO thin films by ICP-assisted sputtering 利用統計を見る

File / Name	License
TENCON2010_1002.pdf
TENCON2010_1002.pdf (311.44KB) [ 40 downloads ]

OAI-PMH

BIBTEX

SWRC

WEKO EXPORT

PRINT PREVIEW

アイテムタイプ	会議発表論文 / Conference Paper
言語	英語
キーワード	Inductively-coupled plasma, Optical spectroscopy, Sputtering, Transparent conducting oxide films, Zinc oxide
著者	Shindo Ryota Iwata Tadashi Hirashima Akinori Shinohara Masanori Matsuda Yoshinobu
抄録	Aluminum-doped zinc oxide (AZO) is one of the promising transparent conductive oxide materials, which is expected to be an alternative to tin-doped indium oxide (ITO) that for long has been widely used in industry. The authors have been engaged in the development of AZO deposition process using inductively-coupled plasma assisted sputtering in a couple of years. This paper reports the results showing effectiveness of inductively coupled plasma (ICP) assisted sputtering in AZO film deposition process.
内容記述	2010 IEEE Region 10 Conference (TENCON 2010) : Fukuoka, 2010.11.21-2010.11.24
雑誌名	TENCON 2010 - 2010 IEEE Region 10 Conference
ページ	1002 - 1006
発行年	2010-11
ISBN	978-1-4244-6889-8
DOI	10.1109/TENCON.2010.5686462
権利	© 2010 IEEE. Personal use of this material is permitted. However, permission to reprint/republish this material for advertising or promotional purposes or for creating new collective works for resale or redistribution to servers or lists, or to reuse any copyrighted component of this work in other works must be obtained from the IEEE.
著者版フラグ	author
出版者	IEEE
引用	TENCON 2010, pp.1002-1006; 2010

お知らせ

■システム更新時期の延期について
(2022/8/26)
リポジトリのシステム更新について、現在のところスケジュールは未定です。
スケジュールが確定次第ご案内いたします。
引き続きご理解とご協力の程、どうぞよろしくお願いいたします。

利用統計メールについて

2020年12月より、サーバ移転のため統計メール送信を停止いたしました。新サーバでも統計メールをお送りするよう作業を進めておりますが、システム更新等が重なり再開が遅れております。再開の時期が決まりましたら、改めてご案内いたします。ご不便をおかけいたしますが、ご理解のほどよろしくお願いいたします。

なお、新サーバでは各論文のページから統計を見ることができます。論文を表示し、論文タイトル右下の「利用統計を見る」のリンクからご確認ください。

詳細↓↓

新NAOSITEでの利用統計の確認方法

・経営と経済102(3-4)の収録論文5件を登録しました。2023/03/20

・長崎大学教育学部紀要9の収録論文16件を登録しました。2023/03/17

・工学研究科研究報告 53(100)の収録論文12件を登録しました。2023/01/31

・総合環境研究 25(1)(2022)の収録論文1件を登録しました。2022/12/1

・Acta medica Nagasakiensia 66(1)の収録論文6件を登録しました。2022/10/28

メニュー

トップページ

NAOSITEについて

学内研究者の方へ

登録と著作権について

よくある質問

リンクリスト

関連リンク

お問い合わせ

長崎大学附属図書館

学術情報管理課学術コンテンツ担当

libcon★ml.nagasaki-u.ac.jp

（メールアドレスは★を@に書き換えてください。）

新着情報

最新

Determination of Anthraquin...

Kishikawa Naoya, El-Maghrabey Mahmoud, Kawamoto Ayaka, Ohyama Kaname, Kuroda Naotaka, Molecules, 28, 5, 2146, 2023-02...

Rapid oxidative fragmentati...

Nakatani Hisayuki, Ohshima Yuina, Uchiyama Taishi, Motokucho Suguru, Dao Anh Thi Ngoc, Kim Hee-Jin, Yagi Mitsuharu, K...

AMH producing purely cystic...

Kitajima Michio, Kajimura Itsuki, Kitajima Yuriko, Murakami Naoko, Matsumura Asako, Matsumoto Kanako, Harada Ayumi, H...

The actual–ideal gap in wor...

Tanaka Junichi, Koga Minami, Nagashima Nanako, Kuroda Hiromi, Journal of Nursing Management, 29, 5, 998-1006, 2021-07...

Evaluation of a renal risk ...

Uchida Tomohisa, Ichinose Kunihiro, Yamashita Ayuko, Muta Kumiko, Kitamura Mineaki, Sato Shuntaro, Iwamoto Naoki, Nis...

Powered by WEKO