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060 工学部・工学研究科 = Faculty of Engineering

060 会議発表資料 = Conference Paper

Permalink : http://hdl.handle.net/10069/25080

Thermal probe measurements of energy flux onto a substrate during ICP assisted sputter-deposition 利用統計を見る

File / Name	License
TENCON2010_2208.pdf
TENCON2010_2208.pdf (287.38KB) [ 47 downloads ]

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アイテムタイプ	会議発表論文 / Conference Paper
言語	英語
キーワード	Energy flux, Inductively coupled plasma, Thermal probe, Transparent conductive film
著者	Kitagawa Hiroaki Kan Ryoji Mine Kenji Shinohara Masanori Matsuda Yoshinobu
抄録	Substrate energy flux in the inductively coupled plasma (ICP) assisted magnetron discharge has been measured by using a home-made thermal probe. The energy flux depends predominantly on the ICP power. In addition, substrate bias dependence of the substrate energy flux has been measured. As a result, it has been confirmed that the measured heat influx in an ICP is in good agreement with the theoretically calculated value within 30% error. Thus, substrate energy flux during the ICP assisted sputtering is quantitatively clarified.
内容記述	2010 IEEE Region 10 Conference (TENCON 2010) : Fukuoka, 2010.11.21-2010.11.24
雑誌名	TENCON 2010 - 2010 IEEE Region 10 Conference
ページ	2208 - 2212
発行年	2010-11
ISBN	978-1-4244-6889-8
DOI	10.1109/TENCON.2010.5686695
権利	© 2010 IEEE. Personal use of this material is permitted. However, permission to reprint/republish this material for advertising or promotional purposes or for creating new collective works for resale or redistribution to servers or lists, or to reuse any copyrighted component of this work in other works must be obtained from the IEEE.
著者版フラグ	author
出版者	IEEE
引用	TENCON 2010, pp.2208-2212; 2010

お知らせ

■システム更新時期の延期について
(2022/8/26)
リポジトリのシステム更新について、現在のところスケジュールは未定です。
スケジュールが確定次第ご案内いたします。
引き続きご理解とご協力の程、どうぞよろしくお願いいたします。

利用統計メールについて

2020年12月より、サーバ移転のため統計メール送信を停止いたしました。新サーバでも統計メールをお送りするよう作業を進めておりますが、システム更新等が重なり再開が遅れております。再開の時期が決まりましたら、改めてご案内いたします。ご不便をおかけいたしますが、ご理解のほどよろしくお願いいたします。

なお、新サーバでは各論文のページから統計を見ることができます。論文を表示し、論文タイトル右下の「利用統計を見る」のリンクからご確認ください。

詳細↓↓

新NAOSITEでの利用統計の確認方法

・総合環境研究 25(1)(2022)の収録論文1件を登録しました。2022/12/1

・Acta medica Nagasakiensia 66(1)の収録論文6件を登録しました。2022/10/28

・経営と経済102(1-2)の収録論文4件を登録しました。2022/09/20

・長崎大学教育学部教育実践研究紀要21の収録論文33件を登録しました。2022/08/24
・工学研究科研究報告 52(99)の収録論文5件を登録しました。2022/08/01

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