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LOW-PRESSURE MICRO PLASMA GENERATION USING MICROWAVE IN A MIRROR MAGNETIC FIELD
http://hdl.handle.net/10069/9854
http://hdl.handle.net/10069/985444c717b3-fd4c-42fe-922b-155e2d2d99ee
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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NSND2008_P24.pdf (276.0 kB)
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| Item type | 会議発表論文 / Conference Paper(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2008-02-12 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | LOW-PRESSURE MICRO PLASMA GENERATION USING MICROWAVE IN A MIRROR MAGNETIC FIELD | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | microplasma | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | 2^<nd> harmonic ECR | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | low pressure plasma generation | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||||||||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||||||||||
| 著者 |
Yukishige, A
× Yukishige, A
× Nakatani, T.
× Shinohara, M.
× Fujiyama, H.
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| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | Microsize plasma sources have not been developed for the condition of low-pressure range less than 0.1Torr in the present technology. In this article we investigate a 2.45GHz microwave discharge operated at the ECR and the 2^<nd> harmonic ECR, by mirror magnetic field. | |||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008) 平成20年1月29日(火)於長崎大学 Poster Presentation | |||||||||||||
| 書誌情報 |
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008) p. 57-58, 発行日 2008-01-29 |
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| フォーマット | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | text | |||||||||||||
| 引用 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008), pp.57-58 | |||||||||||||
